以NMOS舉例，只用萬用表二極管檔測量MOS管的好壞。
NMOS的D極和S極之間有一個寄生二極管，方向為S到D，利用二極管單向導電性以及MOS管導通時寄生二極管截止的特性，可以快速測量MOS好壞。
1、測量之前將MOS的3個極短接，可以用一根鐵絲，泄放MOS管內部電荷，確認MOS管是關閉狀態。
短接釋放電荷確保MOS截止
2、將萬用表調至二極管檔，將紅表筆接在MOS的S極，黑表筆接在D極，這時寄生二極管是導通狀態，萬用表會顯示電壓值，一般是0.4V~0.9V之間（不同的MOS會有所差異）。
3、將黑表筆接在S極，紅表筆接在D極，寄生二極管是截止狀態，萬用表會顯示1，相當于開路。
第2步和第3步萬用表都顯示一定的電壓值，代表MOS管D和S已經擊穿損壞。
第2和第3步萬用表都顯示1，代表MOS管寄生二極管開路損壞。
4、萬用表紅表筆和黑表筆之間有一定的電壓，可以將紅表筆接在MOS管的G極，黑表筆接在S極，并維持一段時間（給Cgs電容充電，確保MOS有一定的導通），然后再重復第3步，這時萬用表也會顯示電壓值，但接近于0，因為此時DS導通寄生二極管截止。
5、重復第1步，釋放電荷，讓NMOS處于截止狀態，再重復第3步，萬用表再次顯示1，代表寄生二極管截止。
6、將萬用表調至蜂鳴器檔或者電阻檔，將紅表筆接在MOS的G極，黑表筆接在S極，蜂鳴器不會響，GS阻抗比較大，代表GS沒有擊穿損壞。
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